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支持第8代液晶面板生产线的XY工作台亮相(图)
发布时间:支持第8代液晶面板生产线的XY工作台亮相(图)

  【日经BP社报道】横河电机和横河桥(YokogawaBridge)共同开发出支持适用于第8代液晶面板生产线的设备的XY工作台(XYStage)。最大可支持2200mm×2400mm的素玻璃基板。由于此次开发产品没有采用以往XY工作台所采用的石定盘(rocktopplate),因此交货期可缩短到以往的1/3。该公司计划在12月1~3日举行的“SEMICONJapan2004”上展示该面向第8代生产线的XY工作台。

  支持第6代生产线的XY工作台,计划在“SEMICON Japan 2004”上展示支持第8代生产线的产品。

  XY工作台用于液晶面板制造工序中要求很高精度定位的露光、涂布、检查、缺陷修补以及张贴等设备中。过去是由设备厂商独自设计和开发并用于本公司设备中的。但随着玻璃基板增大,“满足面板厂商所要求的性能和成本越来越困难”(横河电机ATE业务总部Human-Technology事业部DDM中心长小野裕)。据此两家公司认为,工作台部应该委托给专业厂商。两家公司打算今后通过实现露光Head和检查相机等ProcessHead和安装玻璃基板Chuck方法的标准化,实现XY工作台的标准平台化。

  此次开发产品的最大特点是省去石定盘并实现高精度定位。在以往设备中固定玻璃基板的工作台使用用天然石制成的石定盘来达到提高精度的目的。但由于寻找大型石定盘需要时间,因此设备交货期很长。省去石定盘后“只需3个月左右便可供货,只有以往的约1/3”(横河电机常务执行董事ATE业务总部HumanTechnology事业部长安养寺明彦)。另外由于省去沉重的石定盘,无需从面向第8代的大型工作台上“拆卸便可船运和陆运”(小野)。

  此次开发产品的行程为300mm,定位精度为±0.25微米。将从2004年12月1日开始受理订购,价格为3150万~5250万日元(约合人民币240万~390万元)。两家公司计划在2005年度获得100台订单。品种包括支持第6代生产线代生产线代生产线的产品。(记者:工藤康裕)日文原文

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